高性能X射線熒光分析儀的功能：

　　XRF是基于X射線的一種分析手段，當一束高能粒子與原子相互作用時，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結合能，將該軌道電子逐出，形成一個空穴使原子處于激發態，由于激發態不穩定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態，躍遷時釋放出的能量以輻射的形式放出便產生X熒光。X熒光具有特征的波長，對應的即是特征的能量，通過對光子的特征波長進行辨識，XRF能實現對元素的定性分析，通過探測特征波長的X射線光子的強度，實現元素的定量和半定量分析。

　　高性能X射線熒光分析儀具有以下優點：

　　a）分析速度高。測定用的時間與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　b）X射線熒光光譜儀跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。

　　c）非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

　　d）X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

　　e）分析精密度高。

　　f）制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。